氮化鋁陶瓷基片成型工藝

傳統(tǒng)的成型工藝如干壓、等靜壓成型等方法雖然適用于高性能 AlN塊體材料的制備，但成本高、效率低，難以用于規(guī)?；a(chǎn)。為突破AlN陶瓷傳統(tǒng)成型方法的局限性，新型成型工藝如流延、注凝、注射成型應(yīng)運(yùn)而生，后兩者主要適用于復(fù)雜形狀的零件。

1、流延成型工藝

流延成型法也稱括刀成型法，目前已成為高導(dǎo)熱AlN陶瓷基片的主要成型工藝，AlN漿體內(nèi)各添加劑如溶劑、分散劑、黏結(jié)劑和增塑劑的加入是改善其流動性、提高力學(xué)性能，從而制備高性能AlN陶瓷基片的重要因素之一。

2、流延等靜壓復(fù)合成型工藝

采用傳統(tǒng)流延成型工藝所制備出的漿料固相體積含量較低，加上干燥階段中部分有機(jī)溶劑的揮發(fā)，極易導(dǎo)致素坯中孔隙率的增加從而使坯體結(jié)構(gòu)疏松化，弱化后期燒結(jié)效果，難以制備出高致密度、高導(dǎo)熱AlN基片。

流延等靜壓復(fù)合成型工藝是基于非水基和水基流延成型的一種新型陶瓷基片成型工藝，既保留了流延成型素坯的延展性，又在此基礎(chǔ)上采用等靜壓二次成型，彌補(bǔ)了前一成型過程留下的致密度低、結(jié)構(gòu)松散等缺陷。