什么是熱解氮化硼？

熱解氮化硼（PBN）屬于六方晶系，為先進(jìn)陶瓷材料，純度可以達(dá)到99.999%，耐酸堿，抗氧化，導(dǎo)熱性好，致密，可加工。它在高溫、高真空條件下，由氨和硼的鹵化物進(jìn)行化學(xué)氣相沉積（CVD）而成，既可以制備PBN板材，也可以直接制備坩堝，舟，涂層等PBN最終產(chǎn)品。

它與普通的熱壓氮化硼(BN)不同，不必經(jīng)過傳統(tǒng)的熱壓燒結(jié)過程，不添加任何燒結(jié)劑，因此獲得的產(chǎn)品具有如下顯著特點(diǎn)：

（1）無毒、無味；

（2）純度高，達(dá)到99.999%以上；

（3）室溫下與酸、堿、鹽及有機(jī)試劑不反應(yīng)，在熔融的鹽、堿液中略腐蝕，但能抗高溫下各種酸的腐蝕；

（4）與大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體及其化合物不反應(yīng)；

（5）在1000℃以下，抗氧化性能良好；

（6）抗熱震性能良好，2000℃投入水中未見裂紋；

（7）使用溫度高，無升華點(diǎn)，在3000℃以上直接分解為B和N；

（8）電阻高，電絕緣性能好；

（9）表面光滑，無氣孔，與大多數(shù)半導(dǎo)體熔體不濕潤(rùn)。

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